MNE6005
微系统技术
📘 简介
本课程旨在介绍现代制造中微系统技术的最新进展。学生将学习微制造、微电子机械系统（MEMS）、传感器与执行器、超大规模集成电路（VLSI）和半导体制造的基本原理，并培养相关技能。
🔗 相关链接
🎯 学习目标
完成课程后，学生将能够：
✔️ 识别微系统技术与微制造的基本原理；
✔️ 应用微制造工艺开发 MEMS 和传感器/执行器技术；
✔️ 设计微系统，结合基本机械和 VLSI 微电子知识；
✔️ 调查现代制造工艺及其相关业务。
📊 评估方式
| 评估项目 | 权重 | 具体描述 |
|---|---|---|
| 📖 作业（2 次） | 50% | 包括案例分析与设计任务，测试学生的理解能力。 |
| 📚 小型项目报告 | 30% | 提交小组项目报告，展示研究与设计能力。 |
| 📚 小型项目展示 | 20% | 小组展示项目成果并接受评价。 |