SYE6205

半导体薄膜工程 (Semiconductor Thin Film Engineering)

📘 简介

本课程是一门高级课程，探讨半导体薄膜的原理、技术及应用。内容涵盖物理气相沉积、化学气相沉积、原子层沉积、分子束外延以及薄膜的特性分析方法，涉及显示器、太阳能电池等设备的应用和挑战，包括缺陷、可靠性及工艺优化。

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🎯 学习目标

完成课程后，学生将能够：

✔️ 理解半导体薄膜工程的基本原理与概念，包括沉积方法、材料及特性分析技术；

✔️ 选择并应用适当的薄膜沉积技术用于特定半导体应用；

✔️ 分析并评估薄膜的性能及特性；

✔️ 应用所学知识解决与薄膜工程相关的实际工程问题。

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📊 评估方式

评估项目	权重	具体描述
📋 期中考试	30%	测试学生对半导体薄膜工程核心概念的理解。
📝 期末考试	70%	为时两小时的考试，涵盖所有课程内容，需获得至少 30% 的分数方可通过。