SYE6207

半导体制造的表征技术 (Characterization Techniques for Semiconductor Manufacturing)

📘 简介

本课程探索用于半导体制造的各种表征技术，评估器件的质量、性能和可靠性。学生将学习电学、光学、物理和化学表征方法，以及可靠性测试和故障分析。课程通过实际案例和实验练习提供实践机会，帮助学生优化工艺和提升生产良率。

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🎯 学习目标

完成课程后，学生将能够：

✔️ 理解半导体制造中表征技术的基本原理；

✔️ 选择并应用适当的表征技术评估器件质量、性能和可靠性；

✔️ 分析器件性能以优化工艺并提升生产良率；

✔️ 探索可靠性测试和故障分析方法。

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📊 评估方式

评估项目	权重	具体描述
📂 期中考试	30%	测试学生对表征技术基本概念的理解。
📋 作业	30%	提交个人作业，评估学生对课程内容的理解与应用能力。
📝 期末考试	40%	为时两小时的考试，需获得至少 30% 的分数方可通过。